euv光刻机可以生产多少纳米芯片？可以生产4纳米芯片。目前euv光刻机最高可量产芯片的工艺制程为4纳米，比如高通骁龙8移动平台系列、天玑9000系列和苹果a16。当然euv目前最高工艺可以到3纳米，但目前除了一家矿机公司制作过一批后，其他主流芯片公司并未跟进，应该是良品率不高的关系。
