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光刻机和刻蚀机的区别 蚀刻机是干什么用的

2023-04-16 15:53:35 互联网 未知 科技

 光刻机和刻蚀机的区别 蚀刻机是干什么用的

光刻机和刻蚀机的区别

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。


扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
参考资料:搜狗百科-光刻机,搜狗百科-刻蚀

蚀刻机是干什么用的

通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护摸去处,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,名牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。

蚀刻机刻产品为什么刻的不深却把感光胶刻破了

这种情况的确经常出现,究其原因主要有以下几个方面:
1,上墨前除油环节不彻底,导致附着力欠佳。
2,油墨层在蚀刻前没有经过固膜处理。
3,蚀刻液尽量不要添加盐酸以外的其他类型酸,有些酸对油墨破坏力很强的。
4,墨层太薄或者过厚,都会出现这种情况,过厚的墨层,曝光以及后期固化往往不会彻底,造成附着力不佳。
5,蚀刻机喷头压力过大。
6,蚀刻液温度过高,浓度、酸度过大。
7,板材原因,真的有些板材对油漆油墨的附着力很差,几年中我曾遇到过三两次,只能通过更换其他厂家的板材来解决。