三安光电采用什么光刻机
三安光电采用什么光刻机?
采用duv光刻机。
三安光电是一家led产业链制造公司,三安光电在LED芯片领域处于绝对龙头。三安光电也是一家代工厂,最近获得了富智康的滤波器订单。不过因为工艺制程要求不高,所以使用的光刻机制程也不高,应该使用的上海微电子90纳米duv光刻机。
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在2021年至2022年交付国产第一台28nm的immersion式光刻机,虽然与当前主流荷兰的7nm芯片制备工艺还有大的差距,但也标志着国产光刻机的飞跃进步,在逐渐减少与荷兰ASML公司差距。