国产光刻机进展到什么程度了

国产光刻机进展到什么程度了？

国产光刻机进展的程度如下。

作为国内唯一一家，全球四家之一的光刻机制造公司，上海微电子于今年通过了28纳米光刻机的技术检测和认证，目前应该处于量产阶段。该光刻机属于第四代duv光刻机，28纳米算是中端光刻机了。上海微电子将在明年向国内芯片制造企业交付28nm光刻机，这代表着国产光刻机最先进的技术水平，国产光刻机在大幅缩短与海外的技术差距。