国产光刻机是什么概念？是duv中低端光刻机。国产光刻机目前的概念是，上海微电子是国内唯一能够制造光刻机的厂商，已经可以制造低端90纳米duv光刻机，不过并未量产。而中端28纳米光刻机项目遇到部分技术问题需要解决，还未进入量产，估计年内能够解决。
