光刻机为什么耗电？光刻机耗电是以为“EUV 的能源转换效率（wall plug efficiency）只有 0.02% 左右。”而根本原因是极紫外光本身的损耗过大。由于极紫外光对环境的要求非常严格，在传输过程中，能量损失大，经过多重的反射，最终到达晶圆上的光源不到0.02%。
