光刻机和抛光机的区别？是光电设备和机械设备的区别。光刻机是大型光电设备，是利用深紫外线或极紫外光通过光电镜头组在硅晶圆上投影，然后经过蚀刻等工序制作芯片的设备。而抛光机就是通过机械打磨使物体表面光滑的设备。光刻机非常昂贵，通常以亿元单位计算。抛光机就要便宜的多。光刻机是在平面刻字用的设备，抛光机是把一个物体平面打磨光滑。
