中微光刻机生产厂家？不是光刻机生产厂家。是蚀刻机。中微半导体设备（上海）有限公司于2004年5月31日在浦东新区市场监管局登记成立。法定代表人尹志尧（GERALDZHEYAOYIN），公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。2021年5月8日消息，中微公司成功研制出3nm蚀刻机，且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估，并已进入量产阶段。
