有了光刻机还需要哪些设备？光刻机、等离子刻蚀刻机、反应离子刻蚀系统、离子注入机、单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机、气相外延炉、氧化炉（VDF）、低压化学气相淀积系统、等离子体增强化学气相淀积系统、磁控溅射台、化学机械研磨机、引线键合机、探针测试台
