28nm光刻机可以生产多少nm芯片

28nm光刻机可以生产多少nm芯片？

可以生产10nm芯片。

28nm光刻机可以生产10nm芯片。在没有euv光刻机的年代，台积电利用28nm光刻机就已经能够生产7nm芯片了，所以生产10nm完全没问题。其原理大致是通过对晶圆多次曝光多次蚀刻达到更高制程。国内比如中芯国际现在也可以生产10nm芯片。

28纳米光刻机单次曝光可完成28纳米制程，双次曝光可生产14纳米制程的芯片，但是双次曝光良品率会下降，当然理论上如果加强工艺最高能到11纳米制程