光刻机是什么单位

光刻机是什么单位？

以台为单位，主要描述一般是纳米制程。

光刻机本身是大型光电设备，是制造芯片的硬件设备，本身就是以台为单位。但这样描述没什么意义，通常来说是按光刻机的工艺制程纳米来描述。比如同样是193纳米深紫外光光源的光刻机，通过浸润式可以压缩到143纳米，通过物镜组可以压缩到90、55、28纳米等，所以一般用纳米制程来表示单位。