世界光刻机最高端的是几nm
世界光刻机最高端的是几nm?
目前ASML主要对外销售的光刻机设备为NXE:3400C,全新的模块化设计,也是让光刻机设备更加便于维护和维修,同时也支持7nm、5nm芯片工艺制程,而根据ASML此前所披露信息来看,目前也正在研发全新一代EUV光刻机设备EXE:5000系列,全新一代EUV光刻机设备的主要合作伙伴依旧还是卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心,而这次全新研发的EXE:5000系列EUV光刻机,分辨率更是直接提升了70%,意味着ASML这次所研发的EUV光刻机设备将会直接瞄准2nm,甚至是极限1nm芯片制程工艺。
目前最先进的光刻机是3nm。
世界光刻机最高端3nm
据了解,世界上最先进的光刻机已达到5nm至7nm,仅有的能制造顶级光刻机的国家是荷兰和日本。