中瑞光刻机投产能生产几纳米芯片

中瑞光刻机投产能生产几纳米芯片？

中端光刻机投产能生产45纳米以下的芯片。

光刻机领域按可以分高中低端机型，按制程14纳米以下为高端机，45纳米以下为中端机，其他为低端机。其中高端机为1.35纳米光源波长的光刻机，中低端一般是193纳米深紫外光光源，通过技术手段做到45纳米以内就是中端光刻机，这个技术是很有含金量的。而我国上海微电子28纳米光刻机已经通过技术检测和认证，预计年底量产。