国产14nm芯片用什么光刻机?14nm芯片量产用的是荷兰阿斯麦公司的光刻机。现在国产的14nm芯片,使用的就是荷兰阿斯麦公司生产的DUV光刻机。去年的时候中芯国际公司,向荷兰阿斯迈公司订购了十台的DUV光刻机,现在已经全部到货。14nm芯片都是荷兰阿斯麦公司,生产的光刻机,制造出来的。