当年是谁中止了光刻机研发?ASML公司中止了光刻机研发。因为光刻机研发需要大量的资金和技术投入,而当时ASML公司的两个主要竞争对手(尤其是Intel)已经拥有了更为先进的光刻机技术和生产能力,ASML公司认为在这个领域中研发的成本过高,不值得去冒这个风险。此外,ASML公司也意识到在研发光刻机方面与Intel等公司之间的实力差距越来越大,因此公司决定转变其研究方向,专注于其他技术领域的研发。总之,ASML公司中止了光刻机研发,这是一个明智的决定。