光刻机为什么不能动

光刻机为什么不能动？

光刻机为超大型精密机器，不能动的原因如下。

光刻机等机器不同于传统机器这种机器需要进行各种调试，并且这些调试工作完全由厂商派人完成，自己根本没办法驱动。如阿斯麦尔euv光刻机仅安装调试就要耗时一年左右。这种设备都装有各种传感器以及高精度电子陀螺仪，一旦检测到机器发生位置移动、拆机等动作，机器就会被远程锁死，想要解锁必须找到厂家工程师过来解决。这一点在高端进口机床上也是如此，位置不能动，甚至加工部件怀疑是军工也会远程锁机。