中微刻蚀机与阿斯麦刻蚀机
中微刻蚀机与阿斯麦刻蚀机?
中微生产的是蚀刻机,阿斯麦尔生产的是光刻机并不生产蚀刻机。
中微公司已经成功研制出了3nm蚀刻机,并且已经完成原型机的设计,制造和测试,目前已经进入量产阶段,突破了技术壁垒,处于世界领先水平,不仅能够提供设备支持,还可以对国外进行反制。。阿斯麦尔为半导体生产商提供光刻机及相关服务,其生产的13.5纳米极紫外光光源的EUV光刻机是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。阿斯麦尔旗下子公司及相关公司多为光刻机相关零部件制造商,并不涉及蚀刻机制造。