duv光刻机极限几纳米

duv光刻机极限几纳米？

7纳米是duv光刻机的极限。

duv光刻机的极限是7纳米，真正掌握7纳米技术的仅有台积电和三星两家。7纳米是一个非常关键的节点，它是DUV光刻机所能达到的极限。从7nm开始，EUV光刻机将成为必须。没有EUV光刻机，将无法再进行下一代工艺的研发。像英特尔也推出了7纳米芯片，但这是EUV光刻机做的。所以全球顶尖芯片制造商用duv光刻机只能达到7纳米制程。