光刻机总共有多大

光刻机总共有多大？

光刻机总共最重可达一百八十吨。

光刻机生产制造的技术要求极高，ASML一台光刻机重量达到一百八十吨，包含了10万个零部件，需要40个标准集装箱才能装下，涉及到上游5000多家供应商，比如德国的光学设备与超精密仪器，美国的计量设备与光源等。一台光刻机的主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块。

中低端光刻机没有这么庞大，而且还有封装光刻机要更小一些。

有200来吨

光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机的分辨率是光刻机能够清晰投影最小图像的能力，这一关键指标决定了这台光刻机可以用于何种工艺节点。R=k1*λ/NA代表了与其相关的多个参数，其中R为分辨率，k1为光刻工艺系数，λ为波长，NA为数值孔径。