7nm光刻机为什么可以生产5nm芯片吗

7nm光刻机为什么可以生产5nm芯片吗？

7nm和5nm只是芯片制程工艺，而非光刻机的型号，而光刻机根据光源分可以有深紫外光刻机（dUV）和极紫外光刻机（eUV），而我们知道的7nm以下制程工艺都是基于极紫外光刻机而开发的。

目前极紫外光刻技术光刻机仅有荷兰的阿斯麦尔可以进行批量生产。其中NXE:3400C/B都可同时生产7nm和5nm芯片。